欧美成人电影 2017男人天堂手机在线 欧美a片欧美一级高清片

  • <tt id="eqkgu"><noscript id="eqkgu"></noscript></tt>
  • <noscript id="eqkgu"></noscript>
    <tbody id="eqkgu"></tbody>
  • <li id="eqkgu"></li>
  •     收藏本站    |   聯系我們    |  中文 / EN

    產品展示

    PRODUCTS

    服務中心

    銷售熱線: 0371-6320 2801
    0371-6320 2805
    售后服務: 0371-6320 2905
    值班經理: 蔡永國: 181 0371 5723
    徐曉冬: 188 3821 1523
    Email : nbd@nbdkj.com
    公司地址: 鄭州·新鄭·新村鎮鄭州理工職業學院內
        CVD系統 當前位置:網站首頁 > 產品展示

    RTP快速退火爐

    發布時間:2017-11-16  瀏覽次數:1889

    產品型號:NBD-HR1200-110IT-170
    商品簡述:NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 
    該產品采用成熟的制造工藝,RTP快速退火爐造型新穎結構合理; 
    目前已被各種試樣實驗多次驗證,RTP快速退火爐并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域; 


    該系統主要用于: 
    1.可滿足離子注入后的快速退火; 
    2.也可用于歐姆接觸快速合金; 
    3.還可用于硅化物合金退火,RTP快速退火爐氧化物生長; 
    4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 
    該設備是國家專利保護產品,專利號:CN201310005931.6


        快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火爐在成熟的生產制造工藝的基礎上,自主研發了該款產品,擁有發明專利。RTP快速退火爐該設備不但擁有較快的升溫速率500℃/S,而且在燒結工藝運行完結,直接將試樣在高溫區取出。實現物理狀態下的較快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,RTP快速退火爐在綠色節能環保的基礎上實現了試樣的快速升降溫!
    腔體采用了不同的進氣結構,內管進氣,外管出氣,RTP快速退火爐使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準確性。


    RTP快速退火爐主要技術參數

    1

    項 目

    主要技術指標

    數據

    2

    規格型號

    NBD-HR1200-110IT-170

    3

    溫度控制

    最高溫度點

    1200℃

    4

    額定溫度

    1100℃

    5

    穩定狀態溫度范圍

    100~1000℃

    6

    溫度測量精度

    ±0.2℃

    7

    溫度控制重復性

    ±1℃

    8

    溫度控制精確度

    ±1℃

    9

    溫場均勻性

    ±2℃

    10

    溫度狀態工藝時間(S)

    2~100(100~1000℃)

    11

    最快升溫速率

    500℃/S

    12

    降溫速率(℃/S)

    1~200(通氮氣,速率更快)

    13

    溫度控制模式

    智能模糊全閉環控制

    14

    軟件功能

    操控系統

    NBD-101智能系統

    15

    用戶界面

    中英文互換

    16

    工藝菜單編輯

    觸屏式圖像操作界面

    17

    擴充端口

    可擴充真空測控和FFC供氣

    18

    看門狗

    系統進入死循環時關閉主控制器

    19

    熱電偶校準狀態檢測

    軟件校準,方便準確,軟件分析傳感器狀態是否正常

    20

    超高溫狀態檢測

    軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時,切斷主回路

    21


    觸摸屏尺寸

    7"LCD

    22

    物理指標

    最大功率

    15kw

    23

    額定電壓

    AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

    24

    傳感器類型

    S型單鉑銠

    25

    反應腔室內徑尺寸

    Φ100X200mm

    26

    式樣有效空間

    3.5"

    27

    真空度

    4.3×10-3Pa(外配分子泵)

    28

    抽氣端口尺寸

    KF16(或Φ8mm寶塔嘴)

    29

    供氣口尺寸

    Φ6.35mm雙卡套

    30

    冷卻方式

    自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

    31

    外形凈尺寸(mm)

    長920×深500×高560

    32

    重量

    凈重65kg

    欧美成人电影 2017男人天堂手机在线 欧美a片欧美一级高清片