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        產品展示

        PRODUCTS

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            CVD系統 當前位置:網站首頁 > 產品展示

        RTP快速退火爐

        發布時間:2017-11-16  瀏覽次數:1889

        產品型號:NBD-HR1200-110IT-170
        商品簡述:NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 
        該產品采用成熟的制造工藝,RTP快速退火爐造型新穎結構合理; 
        目前已被各種試樣實驗多次驗證,RTP快速退火爐并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域; 


        該系統主要用于: 
        1.可滿足離子注入后的快速退火; 
        2.也可用于歐姆接觸快速合金; 
        3.還可用于硅化物合金退火,RTP快速退火爐氧化物生長; 
        4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 
        該設備是國家專利保護產品,專利號:CN201310005931.6


            快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火爐在成熟的生產制造工藝的基礎上,自主研發了該款產品,擁有發明專利。RTP快速退火爐該設備不但擁有較快的升溫速率500℃/S,而且在燒結工藝運行完結,直接將試樣在高溫區取出。實現物理狀態下的較快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,RTP快速退火爐在綠色節能環保的基礎上實現了試樣的快速升降溫!
        腔體采用了不同的進氣結構,內管進氣,外管出氣,RTP快速退火爐使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準確性。


        RTP快速退火爐主要技術參數

        1

        項 目

        主要技術指標

        數據

        2

        規格型號

        NBD-HR1200-110IT-170

        3

        溫度控制

        最高溫度點

        1200℃

        4

        額定溫度

        1100℃

        5

        穩定狀態溫度范圍

        100~1000℃

        6

        溫度測量精度

        ±0.2℃

        7

        溫度控制重復性

        ±1℃

        8

        溫度控制精確度

        ±1℃

        9

        溫場均勻性

        ±2℃

        10

        溫度狀態工藝時間(S)

        2~100(100~1000℃)

        11

        最快升溫速率

        500℃/S

        12

        降溫速率(℃/S)

        1~200(通氮氣,速率更快)

        13

        溫度控制模式

        智能模糊全閉環控制

        14

        軟件功能

        操控系統

        NBD-101智能系統

        15

        用戶界面

        中英文互換

        16

        工藝菜單編輯

        觸屏式圖像操作界面

        17

        擴充端口

        可擴充真空測控和FFC供氣

        18

        看門狗

        系統進入死循環時關閉主控制器

        19

        熱電偶校準狀態檢測

        軟件校準,方便準確,軟件分析傳感器狀態是否正常

        20

        超高溫狀態檢測

        軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時,切斷主回路

        21


        觸摸屏尺寸

        7"LCD

        22

        物理指標

        最大功率

        15kw

        23

        額定電壓

        AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

        24

        傳感器類型

        S型單鉑銠

        25

        反應腔室內徑尺寸

        Φ100X200mm

        26

        式樣有效空間

        3.5"

        27

        真空度

        4.3×10-3Pa(外配分子泵)

        28

        抽氣端口尺寸

        KF16(或Φ8mm寶塔嘴)

        29

        供氣口尺寸

        Φ6.35mm雙卡套

        30

        冷卻方式

        自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

        31

        外形凈尺寸(mm)

        長920×深500×高560

        32

        重量

        凈重65kg

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